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　　真空鍍膜機(jī)中的真空管道、靜態(tài)密封零部件（法蘭、密封圈等）的結(jié)構(gòu)形式，應(yīng)符合相關(guān)規(guī)定。
　　在低真空和高真空管道上及真空鍍膜室上應(yīng)安裝真空測量規(guī)管，分別測量各部位的真空度。當(dāng)發(fā)現(xiàn)電場對測量造成干擾時，應(yīng)在測量口處安裝電場屏蔽裝置。
　　如果設(shè)備使用的主泵為擴(kuò)散泵時，應(yīng)在泵的進(jìn)氣口一側(cè)裝設(shè)有油蒸捕集阱。
　　設(shè)備的鍍膜室應(yīng)設(shè)有觀察窗，應(yīng)設(shè)有擋板裝置。觀察窗應(yīng)能觀察到沉積源的情況以及其他關(guān)鍵部位。